一种超高纯气体的钢瓶处理系统，包括置换气源、减压器、吸附器、过滤器组、钢瓶组、加热烘箱、真空泵和分析装置；置换气源的输出端连通至减压器的输入端；减压器的输出端连通管至吸附器的输入端，减压器的输出端还连通至分析装置的输入端；吸附器的输出端连通至过滤器组的输入端；钢瓶组包括多个钢瓶和总管，多个钢瓶连通至总管，多个钢瓶放置于加热烘箱内；过滤器组的输出端连通至总管的输入端，总管的输出端连通至真空泵的输入端。本实用新型根据上述内容提出一种超高纯气体的钢瓶处理系统及方法，使钢瓶内部的洁净度达到电子气体的使用要求。