一种超高纯气体的生产系统
授权
摘要
一种超高纯气体的生产系统,原料罐、低温液体泵、汽化器、集装格、增压机、纯化器和充装瓶;原料罐的输出端连通于低温液体泵的输入端;低温液体泵输出端连通于汽化器的输入端;汽化器的输出端连通于集装格的输入端;集装格的输出端连通于增压机的输入端;增压机的输出端连通于纯化器的输入端;纯化器的输出端连通于充装瓶的输入端。本实用新型根据上述内容提出一种超高纯气体的生产系统,其结构简单,能够使纯化器始终保持在高压状态下进行吸附除杂,并且不用频繁对集装格中的钢瓶进行充装补压,生产过程,质量可控和稳定,操作过程安全可靠。
基本信息
专利标题 :
一种超高纯气体的生产系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921292085.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-08
授权号 :
CN210340337U
授权日 :
2020-04-17
发明人 :
张观海裴友宏袁淑筠
申请人 :
广东华特气体股份有限公司
申请人地址 :
广东省佛山市南海区里水镇和顺逢西村文头岭脚东侧
代理机构 :
佛山市禾才知识产权代理有限公司
代理人 :
朱培祺
优先权 :
CN201921292085.X
主分类号 :
C01B21/04
IPC分类号 :
C01B21/04 B01D53/04 F17C5/06 F17C13/02
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B21/00
氮;其化合物
C01B21/04
氮的净化或分离
法律状态
2020-04-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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