本实用新型公开了一种晶片清洗机用清洗液高效利用装置，包括架体、第一抽水泵、过滤箱、滤罩、搅拌叶、活性炭颗粒层、轴杆、第一清洗槽、第二清洗槽、安装架、喷头、第三清洗槽、第四清洗槽、排水管、第二抽水泵、第五清洗槽、第六清洗槽、导水管、第七清洗槽、第八清洗槽、步进电机、储水箱、漏斗、滤水筒、连接杆、毛刷、安装盒、大锥齿轮、转杆、小锥齿轮和扇叶。本实用新型可以更好的对储水箱内的清洗水进行初步过滤，同时也对滤水筒进行清扫，避免了过多的杂质而影响清洗水的流速，极大的提高了对清洗水的过滤效率；同时使活性炭颗粒层与清洗水进行充分的接触，极大的提高了对清洗水的过滤和净化的效率，同时也增强了水循环装置的实用性。