一种用于晶片清洗的自动清洗机
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于晶片清洗的自动清洗机,属于石英晶片加工设备技术领域,包括机架和若干设置在其上并依次排列的清洗模块,各清洗模块对应与控制模块相连;清洗模块包括动力装置和清洗装置;动力装置包括第一驱动装置和第二驱动装置;清洗装置包括喷淋机构、清洗槽和摇臂机构;喷淋机构包括位于清洗槽上方与热水管路相连的喷淋板,喷淋板在第一驱动装置的驱动下沿竖直方向运动;摇臂机构一端连有清洗篮,另一端与第二驱动装置相连,清洗篮随摇臂机构在第二驱动装置的驱动下水平往复运动。本装置通过在清洗过程中采用热水喷淋、摇动和水置换的方式,解决了晶片清洗的洁净度差、效率低下的问题,同时该装置具有耐腐蚀、热水用量少的特点。
基本信息
专利标题 :
一种用于晶片清洗的自动清洗机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920466852.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-08
授权号 :
CN209829729U
授权日 :
2019-12-24
发明人 :
陈天学吴云才
申请人 :
台晶(重庆)电子有限公司
申请人地址 :
重庆市九龙坡区凤笙路22号
代理机构 :
北京同恒源知识产权代理有限公司
代理人 :
杨柳岸
优先权 :
CN201920466852.8
主分类号 :
B08B3/10
IPC分类号 :
B08B3/10 B08B3/02 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的,如用加热,电力,振动
法律状态
2019-12-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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