具有改良型夹具的晶片清洗机台

专利权的终止

摘要

本实用新型提供一种具有改良型夹具的晶片清洗机台。现有的晶片清洗机台的夹具是直角形的，其在固定晶盒的时候，能够卡住晶舟底盘的面积很小，容易产生晶舟底盘没有锁好而松脱，导致晶舟从晶盒里脱落造成晶片破片的情况。本实用新型的具有改良型夹具的晶片清洗机台，至少包括位于机台内部的清洗腔室；用于承载晶片的晶舟，其具有一个底盘，底盘具有四个圆角，所述晶舟通过升降驱动装置可移入移出清洗腔室；罩设在晶舟外的晶盒；以及用于将晶盒锁固在晶舟底盘上的夹具，其中，所述的夹具为圆角形，且夹具卡住晶舟底盘的面积不小于50mm²。采用本实用新型的晶片清洗机台，可增加夹具卡住晶舟底盘的有效面积，从而防止夹具松脱情况的发生。

基本信息

专利标题：

具有改良型夹具的晶片清洗机台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620049609.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-12-27

授权号：

CN200984582Y

授权日：

2007-12-05

发明人：

王磊

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市张江路18号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN200620049609.9

主分类号：

B08B11/00

IPC分类号：

B08B11/00 B08B3/04 B08B13/00 H01L21/302