陶瓷盘搬运装置
授权
摘要

本实用新型涉及一种陶瓷盘搬运装置,包括轨道机构及设置在轨道机构上的机械手机构,机械手机构包括端板、安装在端板上的第一驱动气缸、第二驱动气缸、第一导轨、第二导轨、定位板、推板,端板内开设有两滑槽,两滑槽内分别设置有第二驱动气缸,两第二驱动气缸与推板固定连接,第二驱动气缸的伸缩杆与定位板连接,第一驱动气缸的伸缩杆与推板连接,第一导轨可沿着端板内壁移动,第二导轨可沿着第一导轨移动,定位板固定在第二导轨上。该陶瓷盘搬运装置能够自动抓取或存放陶瓷盘,从而便于陶瓷盘中转以供后续使用,同时可以实现二次伸缩,从而大大提高了整个装置的抓取范围。

基本信息
专利标题 :
陶瓷盘搬运装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921314095.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-14
授权号 :
CN210223988U
授权日 :
2020-03-31
发明人 :
李继忠李述周朱春
申请人 :
常州科沛达清洗技术股份有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市武进区潞城街道富民路299号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921314095.9
主分类号 :
H01L21/677
IPC分类号 :
H01L21/677  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的,例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-03-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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