搬运机械手以及搬运装置
授权
摘要
本发明的搬运机械手具有相互对置的散热侧高辐射比部(41)和受热侧高辐射比部(42)，通过热传导传递至底座部(30)的基板的热从散热侧高辐射比部(41)作为辐射热而被放出，该辐射热被受热侧高辐射比部(42)吸收。由于受热侧高辐射比部(42)形成在与真空槽(7)热连接的受热板(15)，所以，受热侧高辐射比部(42)所吸收的辐射热传递至真空槽(7)。因此，即使在真空气氛中搬运高温的基板的情况下，来自基板的热也不会蓄积于搬运系统，搬运系统难以升至高温。
基本信息
专利标题 ：
搬运机械手以及搬运装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1950936A
申请号 ：
CN200580015021.X
公开（公告）日 ：
2007-04-18
申请日 ：
2005-12-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小池土志夫
申请人 ：
株式会社爱发科
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
温大鹏
优先权 ：
CN200580015021.X
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 B25J19/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2009-02-11 ：
授权
2007-06-13 ：
实质审查的生效
2007-04-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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