一种在氩气环境中的在线氧含量监测系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种在氩气环境中的在线氧含量监测系统，属于一种钛粉的生产设备；其技术方案要点是包括设于手套箱上的氩气进气系统以及排气氧含量检测系统；氩气进气系统包括依次连接的减压阀、氩气浮子流量计以及第一常开电磁阀，减压阀上连接可供氩气进入的进气管，第一常开电磁阀和手套箱连接；排气氧含量检测系统包括依次连接的排气管以及氧分析仪，排气管和手套箱固定连接。本实用新型解决了常见的装置不容易监控手套箱内部氧含量的问题，达到了能够实时监测氧含量，保证工艺在低氧环境下进行的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种在氩气环境中的在线氧含量监测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921322998.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-14
授权号 ：
CN210626430U
授权日 ：
2020-05-26
发明人 ：
刘双林
申请人 ：
北京北方华创真空技术有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号1幢401室
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
刘乾帮
优先权 ：
CN201921322998.1
主分类号 ：
G01N33/00
IPC分类号 ：
G01N33/00 G05D7/03 B22F9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N33/00
利用不包括在G01N1/00至G01N31/00组中的特殊方法来研究或分析材料
法律状态
2020-05-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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