一种超纯水系统包括顺序连接的自来水储水池、预处理系统、预处理水储水池、脱盐处理系统、脱盐水储水池、第一精处理系统、反渗透水储水池、第二精处理系统、超纯水罐、抛光处理系统和超纯水使用机台，还包括再生水池；脱盐处理系统的树脂再生末道冲洗水出水和第一精处理系统的反渗透浓水分别连接再生水池；再生水池的出水口分别连接过滤器反洗水入水口和树脂塔再生水入水口；超纯水使用机台的超纯水回水管道连接超纯水罐；各储水池均为两格或三格。该系统解决了传统应急供水方案存在的建设灵活性差、系统适应性低、维持水质难度大、投资改造运维成本高的问题，同时可回收利用树脂再生末道冲洗水、反渗透浓水和超纯水回水，节约了水资源。