纯水制造方法、纯水制造系统、超纯水制造方法及超纯水制造系...
公开
摘要
本发明提供不使用膜脱气装置而能够进行稳定运转的超纯水制造方法、超纯水制造系统、纯水制造方法及纯水制造系统。一种超纯水制造方法，其是将被处理水用第1反渗透膜装置(2)处理后，接着依次用电动式脱离子装置(3)及硼除去装置(4)处理，从而得到硼浓度为1ng/L以下的超纯水，其中，电动式脱离子装置(3)的被处理水含有超过1mg/L的碳酸，并且，电动式脱离子装置(3)的处理水被除去了碳酸、含有1μg/L以下的硼。
基本信息
专利标题 ：
纯水制造方法、纯水制造系统、超纯水制造方法及超纯水制造系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114616212A
申请号 ：
CN202080072825.8
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2020-11-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
木本洋野口幸男
申请人 ：
野村微科学股份有限公司
申请人地址 ：
日本神奈川
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
陈建全
优先权 ：
CN202080072825.8
主分类号 ：
C02F9/02
IPC分类号 ：
C02F9/02 C02F9/06 B01D61/58 B01D61/46 B01D61/44 B01D61/08 C02F103/04 C02F101/10
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C02
水、废水、污水或污泥的处理
C02F
水、废水、污水或污泥的处理
C02F9/00
水、废水或污水的多级处理
C02F9/02
包括分离步骤
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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