本实用新型公开了一种超纯水制造装置，包括超纯水制造机体以及装设在其内部的储水罐，储水罐上分别装设有进气电磁阀与排气电磁阀，进气电磁阀一侧装设有导气管，导气管一侧装设在氮箱上，储水罐与氮箱内分别装设有主压力传感器与副压力传感器，氮箱内装设有伸缩杆，伸缩杆下端装设有密封推板，超纯水制造机体上装设有单片机，进气电磁阀、排气电磁阀、主压力传感器、副压力传感器与伸缩杆输入端装设在单片机输出端上。当储水罐内部压力减小时，单片机控制进气电磁阀开启的同时，通过中间继电器控制伸缩杆下移，密封推板下移，缩小氮箱内的容积，从而提高了内部的压力值，降低了添加氮气的频率。