本实用新型揭示了超纯水处理装置，包括按流径依次设置的原水箱、板式换热系统、砂滤器、软化系统、炭滤器、第一精密过滤器、一级RO系统、二级RO系统、渗透集水箱、第二精密过滤器、EDI纯水系统、纯化水箱、抛光混床、第三精密过滤器、纯水供端，并且各连通流径上具备动力泵源，炭滤器、一级RO系统、二级RO系统、EDI纯水系统分别设有连通原水箱的回路路径。本实用新型能实现超纯水生产，满足医药领域用水的超纯水供给需求，在原水出路实现初效循环，实现初效灭菌，同时提高了渗滤效率，提高了水处理效率。具备温控板式换热器，能实现渗滤前端的温控，使得渗透进水温度稳定，延长了各渗滤的使用寿命。纯水供给采用循环供水管网实现循环供给。