本实用新型公开了一种超纯水处理装置，包括底座、水箱、输水管、排水管、盖板、充气管和抽气管。本实用新型，通过盖板本体与水箱之间的螺纹连接，将盖板本体安装在水箱上，通过充气管与连接管之间相连通，通过充气管对充气垫进行充气，使充气垫发生膨胀，对水箱与盖板本体连接处进行密封，拉动外置板，外置板带动活动插销在侧管内移动，使活动插销上的密封垫离开通孔，使得两个通孔之间相连通，并使得上管口与下管口之间相连通，从上管口处将水箱中的空气吸出，通过排水管将输水管中的超纯水排出，对超纯水进行保存，该装置能够有效隔绝超纯水与空气相接触，避免空气进入到超纯水中，影响超纯水的品质。