本实用新型公开了一种超纯水废水处理装置，包括箱体，所述箱体的顶部固定连接有储液箱，所述储液箱的右侧固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有第一转轴，所述第一转轴表面的顶部与表面的底部均固定连接有搅拌杆。本实用新型通过设置箱体、PH测试仪、第一转轴、进液管、搅拌杆、储液箱、第一电机、第一水管、电磁阀、第二水管、增压泵、进水阀、漏斗、出液阀、第二转轴、第二电机、微孔、内筒、进料阀、箱门、壳体、活性炭颗粒和超滤膜的配合使用，解决了现有的超纯水废水处理装置在处理废水时处理方式较为单一，且对其中含有的大量盐分去除效果较差，导致处理效率较低的问题。