一种改善电注入均匀性的吹气板
授权
摘要
本实用新型公开了一种改善电注入均匀性的吹气板，吹气板为中空体，并嵌在电注入腔体侧壁中；吹气板包括面对面设置的出气面和进气面，出气面位于电注入腔体内，进气面位于电注入腔体外；进气面连通进气管，进气管用于向吹气板的中空体内吹入冷气；出气面包括垂直段和倾斜段，垂直段和倾斜段上均开设有若干吹气孔；倾斜段内表面上连接电机，电机输出端连接挡气片，挡气片以电机输出端为中心作圆周运动，挡气片用于遮挡倾斜段上的部分吹气孔。通过倾斜段设计、以及倾斜段内表面上运动的挡气片设计使电注入腔体内的温度均匀，达到了腔体上、中、下层硅片光衰、硅片效率增益稳定性的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种改善电注入均匀性的吹气板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921349216.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-20
授权号 ：
CN210136889U
授权日 ：
2020-03-10
发明人 ：
金国兵刘雷宛正
申请人 ：
阜宁苏民绿色能源科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市阜宁县经济开发区香港路888号
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
董建林
优先权 ：
CN201921349216.3
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18
法律状态
2020-03-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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