一种动态配气设备
授权
摘要
本实用新型涉及气体供给技术领域，具体是一种动态配气设备，包括：控制器、气源系统、配气系统和尾气处理系统；尾气处理系统包括第一容器和真空发生器，真空发生器与控制器连接；气源系统包括第一管路、第二管路、第三管路和管路通断组件，管路通断组件与控制器连接，用于控制管路的通断；配气系统包括第一配气模块，第一配气模块包括第一支路、第二支路、第三支路和支路通断组件，支路通断组件与控制器连接，用于控制所述支路的通断；第一支路分别与第一管路和第一容器连通；第三支路分别与第三管路和真空发生器连通；第二支路与第二管路连通后能够导出气体；本实用新型在配气结束后能够处理配气系统内的气体，减少前次配气对后次配气的影响。
基本信息
专利标题 ：
一种动态配气设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921428608.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-30
授权号 ：
CN211753993U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
耿彦红徐春董亮华王瑞
申请人 ：
苏州市计量测试院
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区文曲路69号
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
郝传鑫
优先权 ：
CN201921428608.9
主分类号 ：
B01F3/02
IPC分类号 ：
B01F3/02 B01F15/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01F
混合，例如，溶解、乳化、分散
B01F3/00
混合，例如，按被混合的相来分散，乳化
B01F3/02
气体与气体或蒸气
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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