一种多组分高精度动态配气装置

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摘要

本实用新型提出一种多组分高精度动态配气装置，包括气泵，气泵出气端经管路分为上支路和下支路，下支路经管路依次连接有第一流量控制器、储气装置及第四流量控制器，第四流量控制器连接至废气排，所述上支路经管路依次连接有第二流量控制器和标气排，标气排经单向阀连接至废气排；所述上支路与下支路之间还连接有第三流量控制器。该多组分高精度动态配气装置在保证配气精度和工作可靠性的同时，降低了生产成本，运行和维护成本低。

基本信息

专利标题：

一种多组分高精度动态配气装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922240431.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-13

授权号：

CN211577098U

授权日：

2020-09-25

发明人：

阮敬华温娜范林王坤刘超曹丽婕巩永存周济翠

申请人：

青岛众瑞智能仪器有限公司

申请人地址：

山东省青岛市城阳区雪岳路1号

代理机构：

青岛致嘉知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

张晓艳

优先权：

CN201922240431.6

主分类号：

G01N33/00

IPC分类号：

G01N33/00