一种动态配气仪
授权
摘要
本实用新型公开了一种动态配气仪，包括混合气室以及分别与混合气室的第一进气口和第二进气口相通的标准气通路和零点气通路；标准气通路与混合气室之间依次串联有第一电磁阀、第一质量流量控制器和第一单向阀；零点气通路与混合气室之间依次串联有第二电磁阀、第二质量流量控制器和第二单向阀；第二电磁阀为三通电磁阀；零点气通路包括第一稀释气通路和第二稀释气通路，第一稀释气通路和第二稀释气通路分别与第二电磁阀连接；在第二稀释气通路上串联有气泵；混合气室的出气口连接有出气通路，在出气通路上串联有一流量计。本实用新型结构简单合理且生产成本较低，能够实现两种稀释气的随时切换，并能准确地控制任一输气通路的气体质量流量。
基本信息
专利标题 ：
一种动态配气仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921653330.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-28
授权号 ：
CN211462757U
授权日 ：
2020-09-11
发明人 ：
朱道云李京
申请人 ：
深圳市云顶自动化技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区横岗街道龙岗大道8288号大运软件小镇第22号楼1楼102室
代理机构 ：
广东腾锐律师事务所
代理人 ：
莫锡斌
优先权 ：
CN201921653330.5
主分类号 ：
B01F3/02
IPC分类号 ：
B01F3/02 B01F15/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01F
混合，例如，溶解、乳化、分散
B01F3/00
混合，例如，按被混合的相来分散，乳化
B01F3/02
气体与气体或蒸气
法律状态
2020-09-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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