一种坩埚装卸装置及坩埚清洗线
授权
摘要
本实用新型提供了一种坩埚装卸装置，包括支架、承载梁、水平移动单元、竖直移动单元和夹持单元，承载梁设置在支架上；水平移动单元能够沿承载梁移动，竖直移动单元设置在水平移动单元上且能够在竖直方向移动；夹持单元设置在竖直移动单元上，且能够夹紧或松开坩埚。当坩埚需要搬运时，水平移动单元和竖直移动单元带动夹持有坩埚的夹持单元，根据实际位移需要实现水平和竖直方向的移动，抵达目标位置后，由夹持单元松开坩埚，实现坩埚的自动搬运，与人工搬运/装卸坩埚相比，具有劳动强度低和自动化程度高的优点。本实用新型还提供一种应用了坩埚装卸装置的坩埚清洗线。
基本信息
专利标题 ：
一种坩埚装卸装置及坩埚清洗线
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921453972.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-03
授权号 ：
CN211217937U
授权日 ：
2020-08-11
发明人 ：
邓书珍宋世信陈新军李国满聂大威杨林魁胡新林李晓冰
申请人 ：
保山隆基硅材料有限公司
申请人地址 ：
云南省保山市隆阳区辛街乡长岭岗龙陵园
代理机构 ：
北京知迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
王胜利
优先权 ：
CN201921453972.0
主分类号 ：
B08B13/00
IPC分类号 ：
B08B13/00 B65G47/90
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B13/00
一般用于清洁机器或设备的附件或零件
法律状态
2020-08-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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