石英坩埚清洗吹干装置

授权

摘要

本实用新型涉及机械技术领域。石英坩埚清洗吹干装置，其特征在于，包括一用于输送石英坩埚的输送架，输送架上安装有带动坩埚运动的输送辊组件；还包括清洗室，清洗室安装在输送架上，且输送架上的部分输送辊组件设置在清洗室内部，清洗室的前后两端分别开设有进料口以及出料口，清洗室的前侧以及后侧均安装有前侧活动门以及后侧活动门；清洗室的底部开设有一排水孔；还包括清洗组件，清洗组件包括用于顶起石英坩埚并带动石英坩埚旋转的顶升旋转机构；顶升旋转机构包括一支撑平台以及用于带动支撑平台运动的动力组件。本专利通过清洗室，工作时与外界隔绝，避免了坩埚清洗吹干时喷射出高压水和高压空气对生产环境造成影响。

基本信息

专利标题：

石英坩埚清洗吹干装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021527156.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-29

授权号：

CN212916924U

授权日：

2021-04-09

发明人：

冯博贺贤汉邵勇谢金谷叶国卿

申请人：

上海汉虹精密机械有限公司

申请人地址：

上海市宝山区宝山城市工业园区山连路188号

代理机构：

上海申浩律师事务所

代理人：

陆叶

优先权：

CN202021527156.2

主分类号：

B08B9/34

IPC分类号：

B08B9/34 B08B9/32 B08B13/00 F26B21/00