一种石英坩埚制备装置，包括密封壳体、水冷模具、石墨坩埚、第一真空泵、第二真空泵、排气组件，石墨坩埚的底部嵌入水冷模具，第一真空泵的入口与水冷模具的内腔连通，在密封壳体的侧壁上方设有第一连接口，在密封壳体的侧壁下方设有第二连接口，排气组件包括三通接头、第一阀门、第二阀门、第三阀门，三通接头的第一接口与第一连接口连接，三通接头的第二接口与第一阀门的入口连接，第一阀门的出口与第二真空泵的入口连接，第二阀门的入口与三通接头的第三接口连接，第三阀门的入口与第二连接口连接，密封壳体和水冷模具设置独立真空，能满足脱羟工艺过程要求，羟基含量可以降低到20～30ppm，还提供了一种降低石英坩埚中脱羟的方法。