能够自动聚焦的检测装置
授权
摘要

本实用新型提供一种能够自动聚焦的检测装置,其中检测装置,包括激光发射源、检测芯片、物镜,物镜处于激光发射源与检测芯片之间,用于将平行光束聚焦;光强度检测模块,与物镜相对设置,以接收并检测平行光束经过物镜及检测芯片后的光强度;运算控制模块,与光强度检测模块通讯连接,用于接收光强度检测模块检测到的信号并进行运算获取光强度变化范围;物镜高度调整部件,与运算控制模块控制连接,以获取光强度变化范围并根据光强度变化范围调整物镜与检测芯片之间的相对高度,以使平行光束聚焦于检测区域平面上。本实用新型通讯数据量相对较小,对设备的硬件及软件要求相对较低,能够节约制造及使用成本。

基本信息
专利标题 :
能够自动聚焦的检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921456753.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-04
授权号 :
CN210863508U
授权日 :
2020-06-26
发明人 :
苏世圣杜晓纯程昕刘晓彬白宇郭永
申请人 :
新羿制造科技(北京)有限公司;清华大学
申请人地址 :
北京市昌平区科技园区超前路甲1号8号楼101室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921456753.8
主分类号 :
G01N21/01
IPC分类号 :
G01N21/01  G02B7/28  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2020-06-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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