横喷结构及电解蚀刻装置
授权
摘要
本实用新型属于电解蚀刻领域，提供一种横喷结构及电解蚀刻装置，包括喷洒单元，所述喷洒单元包括数根喷管和喷嘴，所述喷管水平设置且在水平面上的投影重合，所述喷嘴设于所述喷管上；以及开关组件，包括设于所述喷管上的流量控制单元和通断控制单元。所述流量控制单元控制所述喷管的电解液喷洒流量，所述通断控制单元控制所述喷管内的电解液的通断；所述流量控制单元和所述通断控制单元串联或并联设置于所述喷管上，用于调节蚀刻过程中同一待蚀刻件上水平方向蚀刻的均匀性。
基本信息
专利标题 ：
横喷结构及电解蚀刻装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921456976.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-03
授权号 ：
CN210765576U
授权日 ：
2020-06-16
发明人 ：
朱爱明刘建波吴志鹏
申请人 ：
昆山东威科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市巴城镇东定路东侧
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
贾晓燕
优先权 ：
CN201921456976.4
主分类号 ：
C25F7/00
IPC分类号 ：
C25F7/00 C25F3/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C25
电解或电泳工艺；其所用设备
C25F
电解法除去物体上材料的方法；其所用的设备
C25F7/00
从物体上电解除去材料用电解槽的构件，或其组合件；维护或操作
法律状态
2020-06-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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