冷阱装置以及扩散炉设备
授权
摘要
本实用新型实施例涉及一种冷阱装置及扩散炉设备，包括：外壳体，所述外壳体包括第一进气口和第一出气口；内壳体，所述内壳体位于所述外壳体内，且所述内壳体相对于所述外壳体可拆卸，所述内壳体包括第二进气口和第二出气口，所述第二进气口与所述第一进气口相贯通，所述第二出气口与所述第一出气口相贯通；冷却管路，所述冷却管路位于所述内壳体内。本实用新型能够缩短冷阱装置保养耗时，提高机台产能。
基本信息
专利标题 ：
冷阱装置以及扩散炉设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921458070.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-03
授权号 ：
CN211462147U
授权日 ：
2020-09-11
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
代理机构 ：
上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
成丽杰
优先权 ：
CN201921458070.6
主分类号 ：
B01D8/00
IPC分类号 ：
B01D8/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D8/00
冷凝阱；冷隔板
法律状态
2020-09-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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