一种扩散泵冷阱
授权
摘要
本实用新型公开了一种扩散泵冷阱，包括冷阱法兰，冷阱法兰上固定设置若干圈锥形环状的散热环，散热环上绕设第一冷却水管，冷阱法兰侧面设有与第一冷却水管相连通的第一进水管及第一出水管，散热环上固定设置若干个超出散热环上边缘的延伸柱，延伸柱上绕设第二冷却水管，冷阱法兰侧面设有与第二冷却水管相连通的第二进水管及第二出水管。本冷阱增大了散热面积，设置两层冷却水管增强了冷却效果。本实用新型冷却效果更好，降低了油挥发到工作腔体内，保证真空腔体运行状态下其他成分的摄入。
基本信息
专利标题 ：
一种扩散泵冷阱
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021763467.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-21
授权号 ：
CN213823519U
授权日 ：
2021-07-30
发明人 ：
瞿建强
申请人 ：
江阴市光科光电精密设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市高新园区长山路
代理机构 ：
无锡义海知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王威钦
优先权 ：
CN202021763467.9
主分类号 ：
B01D8/00
IPC分类号 ：
B01D8/00 B01D5/00 B01D53/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D8/00
冷凝阱；冷隔板
法律状态
2021-07-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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