超高真空用精密压电陶瓷摆动台

授权

摘要

本实用新型公开了一种超高真空用大行程精密压电位移台，包括两个交叉滚珠导轨，每个交叉滚珠导轨包括第一导轨体、第二导轨体和导轨保持架，所述导轨保持架位于第一导轨体和第二导轨体之间，所述导轨保持架同时与第一导轨体和第二导轨体耦合。本实用新型公开的超高真空用精密压电陶瓷摆动台，结构简单、尺寸较小、运动范围较大、漂移范围较小，在一个方向运动的同时不会在其他方向产生晃动。

基本信息

专利标题：

超高真空用精密压电陶瓷摆动台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921484733.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-06

授权号：

CN210380693U

授权日：

2020-04-21

发明人：

王文杰

申请人：

仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司

申请人地址：

浙江省嘉兴市南湖区亚太路906号（中科院三期）17号楼2楼203室

代理机构：

嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

张抗震

优先权：

CN201921484733.1

主分类号：

H02N2/00

IPC分类号：

H02N2/00