超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台
授权
摘要
本实用新型公开了一种超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台，包括外壳、旋转平台、旋转轴、轴承和上顶片。所述旋转轴具有上端部和与上端部一体成型的下端部，所述旋转轴与旋转平台固定连接。所述轴承和上顶片依次套接于旋转轴的上端部，所述上顶片与旋转轴的下端部之间具有供置入至少一个压电陶瓷组件的第一空间。本实用新型公开的超高真空用大行程精密压电位移台，采用逆向压电效应，使电能被间接转化为旋转运动的动能。与传统电机相比，具有体积较小、延迟较低、转矩较大、旋转精度高、低速运行稳定、可控性高等特点。
基本信息
专利标题 ：
超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921485111.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-06
授权号 ：
CN210775553U
授权日 ：
2020-06-16
发明人 ：
王文杰
申请人 ：
仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市南湖区亚太路906号（中科院三期）17号楼2楼203室
代理机构 ：
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张抗震
优先权 ：
CN201921485111.0
主分类号 ：
G01Q30/10
IPC分类号 ：
G01Q30/10 G01Q30/16 G01Q30/20
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q30/00
用于辅助或改进扫描探针技术或设备的辅助手段，例如显示或数据处理装置
G01Q30/08
建立或调节样本室所需环境条件的手段
G01Q30/10
热环境
法律状态
2020-06-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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