一种射频匹配网络及射频电源系统
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
摘要

本实用新型公开了一种射频匹配网络,在获取L/C网络输出的射频交流电时,充分考虑到环境温度对信号采集的影响,恒温采样模块会先对自身所处的环境温度进行调整,以将环境温度调整至预设温度范围内,然后采集L/C网络输出端的射频交流电,以便后续第一处理器根据射频交流电通过所述驱动电路对L/C网络进行阻抗调整,实现L/C网络及负载的网络匹配。可见,由于恒温采样模块实现的是恒温采集,从而保证了自身静态工作点的稳定,使得采样信号不会发生失真,提高了采样信号的采样精度及后续的阻抗匹配精度,提高了射频电源系统的工作效率。本实用新型还公开了一种射频电源系统,具有与上述射频匹配网络相同的优点。

基本信息
专利标题 :
一种射频匹配网络及射频电源系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921485810.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-06
授权号 :
CN211206608U
授权日 :
2020-08-07
发明人 :
乐卫平张桂东
申请人 :
深圳市百世达半导体设备有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区西乡街道劳动社区西乡大道和宝源路交汇处中央大道D座13D
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
高勇
优先权 :
CN201921485810.5
主分类号 :
G01R19/00
IPC分类号 :
G01R19/00  G01K7/02  G01K7/16  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R19/00
用于测量电流或电压或者用于指示其存在或符号的装置
法律状态
2022-05-27 :
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : G01R 19/00
登记号 : Y2022440020058
登记生效日 : 20220511
出质人 : 深圳市恒运昌真空技术有限公司
质权人 : 深圳市中小企业融资担保有限公司
实用新型名称 : 一种射频匹配网络及射频电源系统
申请日 : 20190906
授权公告日 : 20200807
2022-01-04 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G01R 19/00
登记生效日 : 20211222
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳市百世达半导体设备有限公司
变更后权利人 : 深圳市恒运昌真空技术有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518102 广东省深圳市宝安区西乡街道劳动社区西乡大道和宝源路交汇处中央大道D座13D
变更后权利人 : 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101,201,301
2020-08-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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