本申请涉及一种阻抗匹配调节方法、装置、射频电源系统和存储介质，采集射频电源系统中的阻抗匹配网络和负载之间的入射波和反射波，获取入射波和反射波之间的幅值差值信号和相角差值信号，根据幅值差值信号和幅值差值信号生成电容控制信号，通过电容控制信号对阻抗匹配网络中的至少一个可调电容的电容值进行调整；其中，阻抗匹配网络为中点连接型的X型阻抗匹配网络，基于调整后的至少一个可调电容，调节阻抗匹配网络的阻抗；通过采用X型阻抗匹配网络，并采取可变电容的方法改变阻抗，调节过程平滑，调节速度快，负载变化范围大，使得负载和阻抗匹配网络的总阻抗与输入阻抗一致，以达到阻抗匹配的目的，进而提高阻抗调节的精度和可靠性。