本申请公开了射频电源的校准装置及方法，用以解决射频电源中功率测量电路的测量精度低的问题。该装置包括射频功率测量电路、控制器、电压补偿器和参数调节器；射频功率测量电路包括依次连接的测量电路、乘法器和运放器；控制器分别与电压补偿器和参数调节器连接，用于控制电压补偿器输出电压补偿值以及控制参数调节器的参数值；电压补偿器与乘法器连接，用于向乘法器提供电压补偿值；参数调节器连接至运放器，用于通过调整参数值校准运放器的输出功率值。该装置减小了测量电路中由乘法器和集成运放器的偏置电压所带来的测量误差，且实现了对射频功率测量电路输出值的实时动态校准效果，提高了射频电源输出功率的精度。