射频电源控制系统、方法及半导体工艺设备
公开
摘要
本发明公开了一种射频电源控制系统、方法、工艺腔室及半导体工艺设备。该系统包括：控制单元、安全互锁控制板和延时控制模组；全互锁控制板、延时控制模组、射频电源匹配器之间形成安全互锁回路；安全互锁控制板用于判断工艺腔室的安全状态是否满足射频电源的启动条件，若满足，则向射频电源发送可被开启的安全互锁信号，射频电源能够执行开启的动作；控制单元用于向射频电源发送开启的控制指令，以及向延时控制模组发送置位控制信号或重置控制信号；延时控制模组用于在接收到重置控制信号后保持安全互锁回路导通，在接收到置位控制信号后开始计时，并在计时达到设定时长后执行切断安全互锁回路的动作，使射频电源关闭。实现对射频电源的延时保护。
基本信息
专利标题 ：
射频电源控制系统、方法及半导体工艺设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114300333A
申请号 ：
CN202111389200.7
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-11-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
乐中天郭春孙运东
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京思创毕升专利事务所
代理人 ：
孙向民
优先权 ：
CN202111389200.7
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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