本发明实施例提供了一种半导体工艺设备的调度控制方法和一种半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括多个模块，所述多个模块配置有对应的指定任务，所述方法包括：针对所述多个模块，逐一获取模块对应的模块信息，并基于预设规则和所述模块对应的模块信息，确定所述模块对应的指定任务是否可执行；所述模块信息包括模块状态信息和物料存在信息；所述预设规则包括用于判断各个模块是否执行对应的指定任务的规则；当确定所述模块对应的指定任务可执行时，控制所述模块执行对应的指定任务。本发明实施例可以降低人工设置参数不准确的影响，能快速确定模块可执行的任务，减少各个模块等待任务的空闲时间，提高各个模块的利用率，提供设备产能。