一体化集成有聚焦功能的多波段滤光传感器
授权
摘要
本实用新型公开了一种一体化集成有聚焦功能的多波段滤光传感器，包括基底电路层，所述基底电路层上设置有光敏器件层，基底电路层与光敏器件层电连接；所述光敏器件层上设置有滤光结构层，滤光结构层上设置聚焦结构层，聚焦结构层用于将光线聚焦到光敏器件层上，且能够在可见光范围内产生0到2π的相移；所述滤光结构层由纳米盘阵列组成，所述纳米盘阵列的高度为50‑200nm，周期为100‑400nm，纳米盘阵列纵横比为1:10‑1:1。本实用新型利用非晶硅纳米盘结构实现了多种波长的滤光，非晶硅可以在不同衬底上形成，具有很好的工艺兼容性。聚焦结构层、滤光结构层以及光敏器件层都集成在CMOS晶圆上，从而可以实现多波段滤光成像装置的小型化和便携化。
基本信息
专利标题 ：
一体化集成有聚焦功能的多波段滤光传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921515850.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-12
授权号 ：
CN210200734U
授权日 ：
2020-03-27
发明人 ：
曹笈朱滨孙英豪刘文朋刘钢谷雨
申请人 ：
江苏集萃智能传感技术研究所有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区越溪吴中大道1451号B1幢
代理机构 ：
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
吴飞
优先权 ：
CN201921515850.X
主分类号 ：
H01L27/146
IPC分类号 ：
H01L27/146
法律状态
2020-03-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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