一种基于纳米盘结构的多波段滤光传感器
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摘要
本实用新型公开了一种基于纳米盘结构的多波段滤光传感器，包括基底电路层，所述基底电路层上设置有电连接的光敏器件层，所述光敏器件层上设置有滤光结构层，所述滤光结构层上设置平坦层；所述滤光结构层由纳米盘阵列组成，所述纳米盘阵列包括多个子阵列，各子阵列包括多个纳米盘，相同子阵列内的纳米盘具有相同的直径和周期，不同子阵列中的纳米盘具有不同的直径和周期。利用氢化非晶硅纳米盘结构实现了彩色滤光，兼容异质基底上以及CMOS工艺，可在现有CMOS图像晶圆上沉积薄膜，制备工艺简单，非晶硅纳米盘结构利用的是米氏散射实现电偶极子和磁偶极子的共振，通过改变纳米盘几何参数可实现特定波长的光的选择，波长选择灵活，可以实现多波长滤光。
基本信息
专利标题 ：
一种基于纳米盘结构的多波段滤光传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921516207.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-12
授权号 ：
CN210200735U
授权日 ：
2020-03-27
发明人 ：
曹笈朱滨孙英豪刘文朋刘钢谷雨
申请人 ：
江苏集萃智能传感技术研究所有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区越溪吴中大道1451号B1幢
代理机构 ：
南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
吴飞
优先权 ：
CN201921516207.9
主分类号 ：
H01L27/146
IPC分类号 ：
H01L27/146 B82Y40/00
法律状态
2020-03-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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