一种近空间升华设备
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摘要

本实用新型公开了一种近空间升华设备,包括工作台,工作台的上表面装配有支撑板,支撑板的下表面滑动装配有移动支撑架,支撑板的上表面装配有箱体,箱体内装配石英管,石英管的内腔装配有基片和源槽,支撑板的上表面滑动装配有移动板,移动板的上表面和箱体的内腔均装配有加热装置,石英管的左右表面均装配有冷却装置,冷却装置装配在石英管的左右两端,本实用新型采用石英管真空腔体,腔体为圆筒型也可以是矩形,腔体内安装石墨加热的基片和源槽,加热器为加热灯组,加热灯组安装在真空室外,透过石英管加热,基片上安装有各种热偶,一套基片与源槽是一个工位,可以左右移动下端加热灯组的位置,来变换为单工位,双工位,三工位近空间升华设备。

基本信息
专利标题 :
一种近空间升华设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921520056.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-12
授权号 :
CN211611685U
授权日 :
2020-10-02
发明人 :
钱进韩晓张晗
申请人 :
沈阳奇汇真空技术有限公司
申请人地址 :
辽宁省沈阳市沈北新区蒲文路16-69号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921520056.4
主分类号 :
B01D7/00
IPC分类号 :
B01D7/00  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D7/00
升华
法律状态
2020-10-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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