一种近空间升华设备

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摘要

本实用新型公开了一种近空间升华设备，包括工作台，工作台的上表面装配有支撑板，支撑板的下表面滑动装配有移动支撑架，支撑板的上表面装配有箱体，箱体内装配石英管，石英管的内腔装配有基片和源槽，支撑板的上表面滑动装配有移动板，移动板的上表面和箱体的内腔均装配有加热装置，石英管的左右表面均装配有冷却装置，冷却装置装配在石英管的左右两端，本实用新型采用石英管真空腔体，腔体为圆筒型也可以是矩形，腔体内安装石墨加热的基片和源槽，加热器为加热灯组，加热灯组安装在真空室外，透过石英管加热，基片上安装有各种热偶，一套基片与源槽是一个工位，可以左右移动下端加热灯组的位置，来变换为单工位，双工位，三工位近空间升华设备。

基本信息

专利标题：

一种近空间升华设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921520056.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-12

授权号：

CN211611685U

授权日：

2020-10-02

发明人：

钱进韩晓张晗

申请人：

沈阳奇汇真空技术有限公司

申请人地址：

辽宁省沈阳市沈北新区蒲文路16-69号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921520056.4

主分类号：

B01D7/00

IPC分类号：

B01D7/00