近空间升华装置

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型提供了一种近空间升华装置。该近空间升华装置包括：腔体；相对设置的第一盒体和第二盒体，所述第一盒体和所述第二盒体均设置于所述腔体的内部，所述第一盒体用于承载衬底基板，所述第二盒体用于承载蒸发源材料；冷却单元，所述冷却单元包括冷却管，所述冷却管设置在所述第一盒体中，所述冷却单元被配置为可对所述衬底基板进行冷却。本实用新型的近空间升华装置，通过在第一盒体中设置冷却管，可以较好地控制第一盒体的温度，进而可以控制衬底基板的温度，衬底基板的温度不易受第二盒体温度的影响，该装置可以较好地控制反应速率，该装置制备的薄膜厚度均匀，质量较好。

基本信息

专利标题：

近空间升华装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922271790.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-16

授权号：

CN211112182U

授权日：

2020-07-28

发明人：

樊新召孙合成

申请人：

蜂巢能源科技有限公司

申请人地址：

江苏省常州市金坛区华城中路168号

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

尹璐

优先权：

CN201922271790.8

主分类号：

C23C14/22

IPC分类号：

C23C14/22 C23C14/54