玻璃基板的尺寸测量装置
授权
摘要
本实用新型提供一种能够进行无损检查的尺寸测量的玻璃基板的尺寸测量装置。玻璃基板(G)的尺寸测量装置(1)具备：浮台(2)，其向水平姿态的玻璃基板(G)的下表面喷出气体，从而以使玻璃基板(G)浮起的状态对该玻璃基板(G)支承；以及拍摄元件(4)，其对玻璃基板(G)进行拍摄，通过拍摄元件(4)来拍摄包含浮台(2)上的玻璃基板(G)的测量点(P)在内的图像数据，从图像数据获取测量点(P)的坐标，并基于测量点(P)的坐标来计算玻璃基板(G)的尺寸。
基本信息
专利标题 ：
玻璃基板的尺寸测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921538700.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-16
授权号 ：
CN211042088U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
井上厚司植村弥浩
申请人 ：
日本电气硝子株式会社
申请人地址 ：
日本国滋贺县
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
刘文海
优先权 ：
CN201921538700.0
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00 G01N21/958
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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