一种旋转式硅片修磨装置
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摘要
本实用新型涉及硅片加工领域,具体是一种旋转式硅片修磨装置,包括修磨机架和承载机台,所述修磨机架架设在承载机台的斜侧面,所述修磨机架的底部安装有安装有修磨轮,所述修磨机架上分别安装有传动盘、传动框架和传动轮,所述传动盘的盘面上安装有传动连杆,所述传动连杆的另一端安装在传动框架的顶端,所述传动框架内腔的上下内板面上分别安装有第一倾斜凸块和第二倾斜凸块,所述传动轮为轮盘边缘等角度设置有若干道拨动块,所述传动轮的轴线位置安装有传动轮轴,所述传动轮轴的动力输出端安装有动力输出轮,所述修磨轮的轮轴外接有从动轮。本实用新型保证每个作业产品的一致性,减少加工设备产生的误差,保证加工的精准度。
基本信息
专利标题 :
一种旋转式硅片修磨装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921568640.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-09-20
授权号 :
CN211615136U
授权日 :
2020-10-02
发明人 :
苏漫芝
申请人 :
苏漫芝
申请人地址 :
广东省揭阳市揭西县金和镇金溪村委高园村25号
代理机构 :
合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
孙兵
优先权 :
CN201921568640.7
主分类号 :
B24B9/06
IPC分类号 :
B24B9/06 B24B47/12 B24B41/02
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B9/00
适用于磨削工件边缘或斜面或去毛刺的机床或装置;其附件
B24B9/02
以被磨制品材料性质为特征专门设计的
B24B9/06
非金属无机材料的,如石头,陶瓷制品,瓷器
法律状态
2020-10-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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