一种花篮杆组件和花篮
授权
摘要
本实用新型提供了一种花篮杆组件，花篮杆组件可以应用于周转花篮，用于对加工过程中的硅片进行周转，包括支撑杆和齿槽杆，齿槽杆包括齿槽杆本体和花篮齿，多个花篮齿依次间隔安装于齿槽杆本体，齿槽杆本体可拆卸安装于支撑杆，多个花篮齿和支撑杆在齿槽杆本体上相对设置或相邻设置。花篮杆组件由可拆卸连接的齿槽杆和支撑杆组成，齿槽杆和支撑杆各自独立，当齿槽杆损坏需要更换时，可以单独更换齿槽杆；当支撑杆损坏时，可以单独的更换支撑杆，或对损坏的支撑杆进行校正后，重复使用。因此，可以避免在齿槽杆或支撑杆损坏时，整根更换花篮杆，节约企业成本，降低花篮使用过程中的资源浪费。此外，本申请还提供一种花篮，用于对加工过程中的硅片进行周转，包括多个花篮杆、两个支撑板和至少一个如上所述的花篮杆组件。
基本信息
专利标题 ：
一种花篮杆组件和花篮
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921596194.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-24
授权号 ：
CN211295060U
授权日 ：
2020-08-18
发明人 ：
陈林
申请人 ：
楚雄隆基硅材料有限公司
申请人地址 ：
云南省楚雄彝族自治州禄丰县金山镇官洼
代理机构 ：
北京润泽恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
莎日娜
优先权 ：
CN201921596194.0
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/673 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-08-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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