电致变色功能薄膜器件连续沉积装置
授权
摘要
本实用新型公开了电致变色功能薄膜器件连续沉积装置，大大简化了电致变色薄膜器件的加工工艺，可实现电致变色功能薄膜器件电极/变色膜的连续、高效、大规模生产，有效解决了现有电致变色功能薄膜器件生产制造中由于透明导电膜与电致变色薄膜需要分别镀膜沉积、电极需要曝光刻蚀或印刷等工艺复杂、工序多且不连续、良率低、效率低、质量不稳定、成本高、无法实现规模化生产与产业化推广的突出问题，可广泛应用于电致变色显示、电致变色灵巧窗等功能薄膜器件的规模化生产制造，具有广阔的应用前景。
基本信息
专利标题 ：
电致变色功能薄膜器件连续沉积装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921605948.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-25
授权号 ：
CN211284529U
授权日 ：
2020-08-18
发明人 ：
李湘裔
申请人 ：
李湘裔
申请人地址 ：
河南省南阳市卧龙区中州路254号
代理机构 ：
北京名华博信知识产权代理有限公司
代理人 ：
王帆
优先权 ：
CN201921605948.4
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/24 C23C14/04 C23C16/54 C23C16/04
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-08-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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