一种返修设备制程腔的风刀防结晶装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种返修设备制程腔的风刀防结晶装置，返修设备制程腔腔体槽下部设有腔体口，腔体口通过TANK回流自动阀连接药液槽，通过排水自动阀连接排水口，两个风刀设于腔体槽中，分别连接纯净干空气供给装置和超纯水供给装置，风刀与纯净干空气供给装置和超纯水供给装置的连接管路上分别设有纯净干空气防水自动阀、超纯水自动阀和管道加热器。其工作方法包括：1）排水准备；2）风刀重洗；3）烘干清除。优点：1）结构简单，操作方便，成本低廉，有效避免人力手动清理的风险，显著提高产量和设备稼动率，保证了设备稳定性和产品工艺品质。2）改善了药液超消耗的问题，降低了生产成本，节能减材。
基本信息
专利标题 ：
一种返修设备制程腔的风刀防结晶装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921630954.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-27
授权号 ：
CN211726670U
授权日 ：
2020-10-23
发明人 ：
钟义顺吴云桂朱子寰朱廷石博平刘红艳陈长增王小霞
申请人 ：
南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市栖霞区天佑路33号
代理机构 ：
南京君陶专利商标代理有限公司
代理人 ：
严海晨
优先权 ：
CN201921630954.5
主分类号 ：
B08B3/02
IPC分类号 ：
B08B3/02 B08B3/08 B08B13/00 F26B23/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2020-10-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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