一种可在线观测的真空检漏仪

授权

摘要

本实用新型公开了一种可在线观测的真空检漏仪，包括：机体、样品座部件、抽真空装置、检测机构和同轴光调节器；样品座部件设于所述机体顶部；抽真空装置设于所述机体内侧；检测机构设于机体顶部；同轴光调节器设于检测机构左侧，用于调节所述检测机构拍摄时光线的明亮度。本实用新型可在线观测样品杆/样品在真空中是否有泄漏、破损等缺陷，进行预抽真空，实现事先防止异常样品杆/样品进入电镜中，避免污染电镜环境。

基本信息

专利标题：

一种可在线观测的真空检漏仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921650399.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-30

授权号：

CN210625984U

授权日：

2020-05-26

发明人：

廖洪钢

申请人：

厦门超新芯科技有限公司

申请人地址：

福建省厦门市厦门火炬高新区软件园创新大厦A区801

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201921650399.2

主分类号：

G01M3/38

IPC分类号：

G01M3/38 G01N21/88