一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的装置，包括真空腔体、金属网笼、样品架、分子泵、机械泵，密封结构的真空腔体内固定有带有开口的空心玻璃砖，空心玻璃砖上放置金属网笼，所述的金属网笼是由金属丝编织成空心矩形结构，金属网笼前后左右均设有开口，使电子逃逸形成回路；样品架用于支撑基体置于金属网笼中央，样品架穿过金属网笼，样品架两端设置在金属网笼外部，底部支撑在真空腔体上；真空腔体上设有进气口；真空腔体通过带有阀门的管道与气瓶连接。优点是：结构合理，方便使用，利用本装置沉积的DLC膜，提高了膜基结合力，以延长其作为油管钢的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种在超级马氏体不锈钢表面制备DLC薄膜的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921658204.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-30
授权号 ：
CN210506520U
授权日 ：
2020-05-12
发明人 ：
周艳文张豫坤赵卓陈东旭王亚男吕哲邓洪运祁继隆杨力刘梦楠康红伟张晶
申请人 ：
辽宁科技大学
申请人地址 ：
辽宁省鞍山市高新区千山路185号
代理机构 ：
鞍山嘉讯科技专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
徐喆
优先权 ：
CN201921658204.9
主分类号 ：
C23C16/50
IPC分类号 ：
C23C16/50 C23C16/26 C23C16/02 C22C38/02 C22C38/04 C22C38/42 C22C38/44 C22C38/58
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
法律状态
2020-05-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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