一种四探针仪载物台
授权
摘要
本实用新型提供了一种四探针仪载物台，包括载物台本体10，所述载物台本体10上设有轨道20，所述轨道20的一侧设有刻度尺21，所述轨道内安装有卡接组件30，所述卡接组件30可以沿所述轨道20滑动，并定位测试的硅片40。
基本信息
专利标题 ：
一种四探针仪载物台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921661526.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-07
授权号 ：
CN210722954U
授权日 ：
2020-06-09
发明人 ：
王玉常巧燕
申请人 ：
天津英利新能源有限公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区津汉公路13888号滨海高新区滨海科技园日新道188号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921661526.9
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2020-06-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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