本实用新型属于激光加工设备技术领域，尤其涉及一种用于脆性材料的超快激光精细加工设备，包括机箱、防护罩、激光焊接系统和工作台，防护罩设于机箱上，工作台设置于机箱上，激光焊接系统包括超快激光器、和超快激光器电连接且用于发射皮秒激光光束的振镜切割头和设置于振镜切割头上并和振镜切割头保持同轴的视觉定位装置，超快激光器设置于机箱内，振镜切割头设置于防护罩内并对应工作台设置。由于切割头可发射皮秒激光光束，而皮秒激光光束不会使得待加工零件产生热损伤，如此便显著降低了脆性的待加工零件在加工过程中碎裂的风险，使得在脆性的待加工零件上进行切割、钻孔和开槽等加工操作变得较为容易，实现了对脆性材料的精确且可靠地加工。