狭缝距离测量工具
授权
摘要
本申请涉及一种狭缝距离测量工具，包括：第一横杆和固定在第一横杆上的第一限位杆，第一限位杆和第一横杆形成直角，第一限位杆用于抵接第一侧壁；第一横杆平行的第二横杆和固定在第二横杆上的第二限位杆，第二限位杆和第二横杆形成直角，第二横杆可相对第一横杆平行移动，用于使第二限位杆抵接第二侧壁；距离传感组件，用于测量第二横杆相对于第一横杆的移动距离；显示组件，与距离传感组件通信连接，用于根据第一限位杆和第二限位杆在第二横杆移动方向上的初始距离以及移动距离计算并显示狭缝距离。通过第一限位杆和第二限位杆快速确定狭缝边界，并通过距离传感组件和显示组件自动测量狭缝距离，可提高测量速度和精度。
基本信息
专利标题 ：
狭缝距离测量工具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921687260.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-10
授权号 ：
CN210375019U
授权日 ：
2020-04-21
发明人 ：
汪兵
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
代理机构 ：
广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
汪洁丽
优先权 ：
CN201921687260.5
主分类号 ：
G01B11/14
IPC分类号 ：
G01B11/14 G01B7/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/14
用于计量相隔的物体或孔的间距或间隙
法律状态
2020-04-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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