一种基于电容式检测原理的MEMS压力传感器
授权
摘要
本实用新型属于传感器技术领域，尤其一种基于电容式检测原理的MEMS压力传感器，包括硅基底板，所述硅基底板的上表面固定设有衬板，所述衬板的上表面安装有传感器芯片，所述传感器芯片的两端固定连接有固定板，所述固定板的上表面安装有第一螺栓，所述固定板的上表面开设有安装孔，所述传感器芯片的上方设有隔膜，所述隔膜的两端固定设有连接板，所述连接板的地面安装有固定件；传感器芯片通过固定板配合第一螺栓，固定至衬板上，形成几字形结构，因固定板与传感器芯片属于直接连接，对传感器芯片的两端进行固定，将直接固定点受力于传感器芯片的两侧，使得传感器芯片和衬板和硅基底板的连接牢固，利于提高检测的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种基于电容式检测原理的MEMS压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921692945.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-08
授权号 ：
CN210689912U
授权日 ：
2020-06-05
发明人 ：
王志
申请人 ：
上海路溱微电子技术有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区秀浦路2388号2幢504室
代理机构 ：
北京卓特专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
段宇
优先权 ：
CN201921692945.9
主分类号 ：
G01L19/00
IPC分类号 ：
G01L19/00 G01L9/12 G01L1/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L19/00
用于测量流动介质的稳定或准稳定压力的仪表的零部件或附件，就这些零部件或附件而论不是特殊形式的压力计所专用的
法律状态
2020-06-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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