一种刻蚀机的翻片机构及刻蚀机的运输装置

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型公开了一种刻蚀机的翻片机构及刻蚀机的运输装置，该翻片机构包括翻板、转轴和驱动件，翻板上设有多个翻片槽，转轴穿设在翻板上，驱动件与转轴相连，驱动件可驱动转轴转动。本实用新型的刻蚀机的翻片机构，采用翻板结构实现对硅片的翻片，简化了翻片机构的结构，降低了翻片机构的制造成本。此外，在翻片过程中没有直接作用在硅片上的吸力，既能够降低硅片的碎片几率，又降低了硅片受到污染的可能。

基本信息

专利标题：

一种刻蚀机的翻片机构及刻蚀机的运输装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921728725.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-15

授权号：

CN210403686U

授权日：

2020-04-24

发明人：

朱纹哲闫鹏飞刘龙杰费正洪

申请人：

盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

申请人地址：

江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

胡彬

优先权：

CN201921728725.7

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677 H01L21/67

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/677

用于传送的，例如在不同的工作站之间

法律状态

2021-03-02 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : H01L 21/677
变更事项 : 专利权人
变更前 : 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
变更后 : 阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号
变更后 : 224431 江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿特斯阳光电力集团有限公司
变更后 : 阿特斯阳光电力集团股份有限公司

2020-04-24 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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