一种真空炉真空系统

授权

摘要

本实用新型属于真空炉设备技术领域，具体地说是一种真空炉真空系统。包括滑阀泵、一级过滤排气管路、二级过滤排气管路、大除尘装置、小除尘装置、罗茨泵排气管及罗茨泵，其中大除尘装置的进气管与真空炉连接，大除尘装置具有一个或多个出气管，各出气管通过一级过滤排气管路与罗茨泵的进气口连接，罗茨泵的排气口与罗茨泵排气管的进气口连接，罗茨泵排气管上设有多个排气口、且通过管路分别与多个小除尘装置的进气口连接，小除尘装置的排气口通过二级过滤排气管路与滑阀泵连接。本实用新型结构简单，拆装方便，使用寿命长，抽空性能好。

基本信息

专利标题：

一种真空炉真空系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921732195.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-16

授权号：

CN211060622U

授权日：

2020-07-21

发明人：

程革刘鹏程吴冰孔德惠于洪斌张天龙吴振磊陶崇浩李天华赵嘉明韩凤何晓棠

申请人：

沈阳沈真真空技术有限责任公司

申请人地址：

辽宁省沈阳市苏家屯区清州街66-1号苏南工业园园区内D区6-1、6-2号

代理机构：

沈阳科苑专利商标代理有限公司

代理人：

何丽英

优先权：

CN201921732195.3

主分类号：

F27B5/05

IPC分类号：

F27B5/05 F27B5/06 B01D50/00