一种晶圆测量装置
授权
摘要
本实用新型属于晶圆测量设备技术领域，尤其为一种晶圆测量装置，包括千分表表头、箱体、吸盘和固定座，所述千分表表头安装在所述固定块上表面，所述测量头安装所述固定块内，且所述测量头贯穿所述固定块、所述滑柱和所述千分表表头，所述顶丝安装在所述固定块右侧边，所述滑柱安装在所述孔槽内，且所述滑柱安装在所述千分表表头下表面，所述孔槽设置在所述固定块上表面，且所述孔槽贯穿所述固定块，所述固定块安装在所述安装支架右端面，所述安装支架安装在所述箱体上表面左侧中间位置，所述箱体首端外表面中间安装有所述操作面板，所述箱体上表面设置有孔洞，本实用新型具有测量方便读数快捷的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921744645.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-17
授权号 ：
CN210909539U
授权日 ：
2020-07-03
发明人 ：
何海洋胡健峰彭强
申请人 ：
无锡市查奥微电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座D座562室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921744645.0
主分类号 ：
B24B41/06
IPC分类号 ：
B24B41/06 B24B49/04 B24B47/12 B24B49/16
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件，比如机架，床身，滑板，床头箱的
B24B41/06
工件支架，如可调中心架
法律状态
2020-07-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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